クリーンブースの設置 2011/12/27 東谷 (目的) LCGTの本番で使う冷凍機の振動試験を柏で行う。コールドヘッド実機周辺の 作業はできるだけクリーンな環境で行うため、クリーンブースを設置する。 目標はクリーン度1万である。 (内容) 冷凍機一式を搬入した後に移動できるよう、可動式クリーンブースを使用する。 101実験室に置いてあって使用されていない1次線グループのクリーンブースを 宮原さんから拝借した。購入してほとんど未使用のクリーンブースである。 Hozan クリーンブース http://www.hozan.co.jp/catalog/Clean_Environment/CL901.htm (作業メモ) 1)実験室上部にあるロフト部へ上がる階段の下に置いてあったせいか、 靴から落ちたと思われる砂埃系のゴミがブース上部にたくさんのっていた。 →ホウキで掃いてから水拭き。 2)床はホウキで掃いた後にコロコロでゴミ取り。 3)実験室は他のグループは使っておらず、12月6日にトラックによる冷凍機 搬入以来、人もほとんど出入りしておらず、エアコンも使用していない。 4)パーティクルカウンターはLCGT用に購入したものをKEKから拝借してきた。 ・オリオン KR-12A 環境測定器 www.rion.co.jp/dbcon/pdf/KR-12A.pdf・セッティング - 1.0CF - Cumulative 5)クリーンブースは実験室中央に置き、東の壁向きに出入り口を向けた。 (北側はシャッターがあり隙間風がある、西側はエアコンがある、 南側は実験室ドアがあるため。東側には壁のみ。) 6)高さ530mmの鉄柱の上にパーティクルカウンターを立てて測定。 クリーンブース中央とクリーンブースの外に同じ鉄支柱を置いて測定。 鉄支柱の上はコロコロでゴミ取り。 7)今回の作業では無塵服等は使用していない。
クリーンルーム全体
鉄支柱はこんな感じ(クリーンルーム外測定時)
パーティクルカウンター (クリーン度測定) 2011/12/27-28 室内温度8-10℃(仕様にある使用温度は10℃以上) 単位は[/CF]。 1)実験室の机上 0.5um粒子 46000 2)クリーンブース内フィルタ駆動前 0.5um粒子 43700 ---> クラス10万 3)クリーンブース内フィルタ駆動開始から2時間 0.5um粒子 32(!?) ---> クラス100??? 4)クリーンブース内フィルタ駆動開始から20時間 0.5um粒子 95(!?) ---> クラス100??? 5)クリーンブース外(3のすぐ後) 0.5um粒子 67904 ---> クラス10万 6)クリーンブース内(4のすぐ後) 0.5um粒子 76 ---> クラス100??? 7)居室の机上(絨毯、エアコン) 0.5um粒子 21345 ---> クラス10万 ※クリーン度メモ (結果・考察) ・ひとけのない実験室とはいえ、クリーン過ぎる。 ・高橋さんによると、同種のパーティクルカウンターは時々クリーン過ぎる値を 出すことはあるとのこと。 ・とりあえずクリーンブース外よりは3桁ほどクリーンになっているようなので よいだろう。(よいのか?) ・他のカウンターを使ってキャリブレーションするか、パージ用フィルタ を使ってパージするか、いずれはハッキリさせたい。